Besonders in der Halbleiterindustrie sind umfangreiche Polierprozesse unabdingbar. Das benötigte Slurry-Wasser-Gemisch ist nach dem CMP-Prozess bisher ein reines Abfallprodukt und muss einer aufwändigen Abwasseraufbereitung, Neutralisation und Entsorgung zugeführt werden. Neben erheblichen Kosteneinsparpotentialen trägt das Recycling des Slurrys dazu bei, die Prozessqualität deutlich zu optimieren.